无铁芯直线电机在半导体制造业的应用有哪些？

**2223551051** 发表于 2022-12-16 12:03:30 · **2223551051** 发表于 2022-12-16 12:03:30

　　随着科技的进步，如今半导体领域已进入大数据和人工智能的新时代，可应用的设备越来越高新智能，其中就包括直线电机，要求在高真空环境下长期保持高精定位。下面就让小编来为大家介绍下，无铁芯直线电机在半导体制造业的应用有哪些？
　　在真空环境中工作的主要挑战之⼀是“ 释气”，这是真空应用中的⼀个关键因素。释气是指通过蒸发、解吸或渗入将已溶解、吸收或捕获的气体释放到真空环境中，进而影响设备腔体的真空环境。这意味着随着时间的流逝，释气持续发生，所以必须有效地提高抽速以保持⼀定的真空度。此外，在释气过程中释气产物可能会凝结在表面上造成污染。
　　雅科贝思研发设计的真空兼容无铁芯直线电机⸺ AWM 系列，可在低至 10^-7 torr真空压力的高真空条件下使用。AWM 系列的线圈和磁轨均由真空兼容材料制成，这些材料经过特殊选择和单独测试，以确保每种材料都满足释气和 RGA 要求。
　　同时，雅科贝思在生产制造过程中采用特殊的真空工艺，确保AWM系列电机生产制造的每个环节都在严格地管控环境中，以防止在过程中吸收气体。此外为了满足真空需求以及高无尘洁净等级，达到最大限度地减少污染、清洁电机和运输前的双重真空包装的目的，雅科贝思真空电机的搬运、运送、包装等流程都有着特殊的要求，包括使用适用于真空的材料、工具和设备等。
　　关于无铁芯直线电机在半导体制造业的应用，小编就先为大家介绍到这里。此外，雅科贝思AWM系列有多种尺⼨可供选择，持续力范围从4 .5N到769N，可满足不同应用。如果对产品还有其他疑问，可通过雅科贝思官网进一步咨询了解。