那些薄如蝉翼的薄膜厚度是如何测量的？

yu34kk

对于生产出来的薄膜而言，在其诸多性能中，薄膜的厚度、均匀度是最关键的参数，它直接关系到生产成本、应用效果等重大问题。因此，监测、控制薄膜的厚度、均匀度，已经成为工业生产中重要的、不可或缺的一部分。

在众多类检测薄膜厚度的方法中，光学方法是应用最为广泛的方法之一。由于光学检测方法的非接触性、高灵敏度性、高精度性以及光学图像的二维计量性，使得它对比其他方法而言，具有快速、准确，不损伤薄膜的优点。

今天给大家介绍一种光学检测薄膜的仪器，大成精密的光学干涉测厚仪。该仪器广泛应用在各个行业的产品材料厚度测量中，在社会上广受欢迎。

一、典型应用

光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶带、Ｍylar 膜、OCA光学胶、光阻等测量。

应用在涂胶工序时，该设备可放置于涂胶池后、烘箱前，在线测量涂胶的厚度；也可以在线测量离型膜涂布的厚度。其精度极高，应用甚广，尤其适合厚度要求达到纳米级的透明多层物体的厚度测量。

二、测量原理

利用光入射不同界面发生反射和透射而产生干涉条纹的原理，测量被测物的厚度。

三、特点

1、在线实时扫描测量薄膜的厚度，实时反映生产过程中薄膜的厚度趋势，帮助反馈调节生产设备，实现更稳定一致的生产

2、可输出横向纵向趋势图、最大值、最小值、极差、CPK等统计参数

3、高精密厚度测量，重复精度达0.4nm

4、可同时检测多层材料厚度

5、适用于光滑表面透明膜厚度测量

6、典型应用于：光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶 带、Ｍylar 膜、OCA光学胶、光阻等测量

四、设备参数

1、测量范围：0.1um～100um

2、测量精度：0.4%

3、测量重复性：±0.4nm

4、波长范围：380nm～1100 nm

5响应时间：5～500ms

6、测量光斑：1mm～30mm

7、动态扫描测量重复性:10nm

薄膜的厚度是否一致，能够影响到生产厂家的成本，以及产品的使用性。很多厂家都会用各种测量仪器来检测薄膜厚度，但总体来说，还是用光学干涉测厚仪来检测厚度比较好，因为它能够实时反映生产过程中薄膜的厚度趋势，帮助反馈调节生产设备，实现更稳定一致的生产。